多功能半導體量測分析系統收費標準
多功能高頻半導體量測分析系統量測儀器
型號： Agilent B1500 半導體參數分析儀(With Pulse Generator)
本量測系統適用於半導體電子材料、奈米元件之電性量測 (I-V、 C-V)， 並且附加溫控系統做溫度調變，可用來分析電子元件之可靠度和電性機制。本平台提供 RT~473K 之變溫量測環境及 1kHz~5MHz 之變頻量測，及提供照光 (紅、綠、藍、 UV)下量測，且最多 4 端點元件之量測。並可由 Agilent B1500A 半導體參數分析儀， 量測在不同溫度和照光下的元件特性及可靠度，更能釐清其中的物理機制，是研究分析電性不可或缺的利器。整個系統利用 Agilent DesktopEasyExpert 量測軟體進行自動控制，提供方便且迅速的量測功能。
量測儀器型號： Agilent B1500 半導體參數分析儀(With Pulse Generator)
儀器設備說明
規格：4 具低漏電探針座(Cascade DCM210)
6 吋可變溫氣浮式平台
RT~473K 變溫量測範圍
功能及用途：放置並固定待測元件供探針座下針
量測儀器型號：
Agilent B1500 & B1530半導體參數分析儀
規格：
HRSMU(High Resolution SMU) × 4
Resolution：1fA/25μV to 100mA/100V
HPSMU(High Power SMU) × 1
Resolution：10fA/2μV to 1A/200V
PGU(Pulse Generator Unit) × 2
Amplitude：40Vp-p
Pulse width：500μs to 2s (100μs res.)
Pulse period：5ms to 5s (100μs res.)
Transition time：8ns to 400ms (2ns to 8ns res.)
註：Source Monitor Unit(SMU)
MFCMU(Multi-Frequency capacitance measurement unit)
Frequency
Range：1kHz to 5MHz
Resolution：1mHz
Amplitude：100 V DC bias with SMU and SCUU (SMU CMU Unify Unit)
Output signal level：
Range：10mV to 250mV
Resolution：1mV
WGFMU(Waveform generator/fast measurement unit)
Resolution：10ns
Amplitude：100 V DC bias with SMU and
功能及用途：提供高解析度I-V量測、C-V量測及可靠度測試，如：
MOSFETs與TFTs之ID-VD & ID-VG & C-V特性
Solar cell、Diode、BJT與MOS之I-V & C-V特性&元件缺陷萃取
RRAM的I-V量測
Hot Carrier Stress與AC Stress
Agilent B2201A低漏電切換器
規格：I-V Port：8 Triaxial Ports(with guard)
AUX Port :6 BNC Ports (2 of CV port)
Output Channel：12 Triaxial Ports(with guard)
Max 48 Ports
Leakage Current：50fA
功能及用途：提供I-V與C-V量測間的快速切換，去除更換線材的動作
Agilent DSO8104A示波器
規格：Bandwidth：1GHz
功能及用途：提供確認脈衝產生器輸出的波形
Temptronic TP03015A變溫平台
規格：變溫範圍：20oC~200oC
功能及用途：提供變溫量測，分析元件於不同溫度下之電性特性
服務項目
1.精準電性量測：電流-電壓特性(Current-Voltage)
電容-電壓特性(Capacitance-Voltage)
電容-頻率特性(Capacitance-Frequency)
電感-頻率特性(Inductance-Frequency)
2.可靠度分析： DC stress AC stress
3.變溫量測： 25℃ ~ 200℃
試片準備
Sample大小須在2吋以內
收費標準
儀器使用每小時收費1,500元整
聯絡方式
指導教授：張鼎張 教授 中山大學物理系
TEL：(07)5252000轉3708
儀器負責人：鄭宇哲、林妤珊 同學
TEL：(07)5252000轉3708
儀器地點：中山大學物理館七樓D7009室
