• 型號：FEI Quanta 200 Environmental Scanning Electron Microscope

• 規格：

1.  加速電壓：200V~30kV
2.  放大倍率：6x ~ 1,000,000x
3.  解像力：
   1.  高真空 (Chamber vacuum < 6e~4 Pa)
   2.  低真空 (<1.3 mBar)
   3.  ESEM模式 (1 ~ 26 mBar)

• 附件：

1.  X光成份分析系統(EDS)

型號：Genesis XM 4i Energy Dispersive X-ray Analysis System

(1) Detector: 仰角35°

(2) Window: Ultra Thin Window

2.  影像增強放大器(Image Intensifier & CCD Camera)

功能及用途

1.  多用途、高效能的ESEM，含有三種模式 (高真空、低真空與 ESEM)，以適應不同環境系統之樣品範圍，可針對一般及無法前處理之樣品進行微細組織，形態觀察分析
2.  配備能量分散光譜儀及電子背散射衍射，具有解析度高及景深較佳的SE detector
3.  可作化學元素成份定性及定量全能譜分析：5B~92U

服務項目

• 樣品電子影像觀察及照相 (SEI & BEI影像)
• 元素分析及高解析成像分析(微區成份元素定性、半定量分析、元素分布分析)

  二、儀器設備使用或服務之收費標準

  編號	項目	收費標準（元/件或小時）	備註
  1	高真空模式之SEI及BEI影像觀察及照相(High vacuum mode SEI & BEI observe)	校內：350元/小時 校外：450元/小時 廠商：800元/小時
  2	EDS分析及Mapping分析 ( EDS and Mapping analyze)	校內：100元/件 校外：100元/件 廠商：200元/件
  3	試片鍍金 (gold plating)	校內：200元/次 校外：200元/次 廠商：200元/次

   

三、實驗室主持人及聯絡人資訊

四、實驗室對外開放時間