主旨：國家科學及技術委員會115年度「先進矽基半導體設備關鍵技術研發專案計畫」自即日起受理申請，請於115年2月23日(星期一)前完成線上申請作業，逾期不予受理，請查照轉知。

說明：
一、依國科會114年12月29日科會工字第1140089886號函辦理。
二、旨揭專案計畫以製程、封裝、檢測設備為核心，藉由跨領域合作、產學研合作，針對系統現狀提出性能提升之目標，以進行關鍵技術研發，並於設備上應用整合。摘述相關申請資訊如下，餘請詳閱計畫徵求公告。
(一)研究議題及相關重點：
１、半導體前段製程設備之關鍵元件、模組或次系統
(１)鍍膜
(２)蝕刻機台
(３)真空技術
(４)晶圓研磨與薄化
２、半導體3DIC先進封裝製造測試設備
３、矽基半導體檢測設備
(１)光學檢測設備
(２)移載系統
(二)本專案計畫需由跨領域學者組成研究團隊執行本計畫，領域整合則視計畫屬性而定，例如機械、材料、物理化學、電機控制等相關領域，並鼓勵團隊依計畫屬性納入相關之資訊軟體或AI技術開發，最後從系統端思考、以系統設計整合解決問題。
(三)本專案計畫需與設備廠商、晶片生產公司、封裝測試公司或法人單位合作，由對方提供機台進行計畫整合與成果驗證，提案時請一併檢附合作企業參與計畫意願書。
(四)僅接受3年期單一整合型研究計畫之申請，每一計畫經費以不超過1,000萬元為原則，執行日期預計自115年6月1日至118年5月31日止。
(五)國科會核給計畫主持人研究主持費最高每個月新台幣20,000元。
(六)線上申請作業選項說明：
１、計畫類型：「專題類-隨到隨審計畫」
２、計畫類別：「一般策略專案計畫」
３、計畫歸屬：「工程處」
４、研究型別：「整合型計畫」
５、學門代碼：「E9885半導體設備關鍵技術研發」
(七)本專題研究計畫國科會聯絡人：
１、本專案計畫召集人：陳國聲教授(國立成功大學機械工程學系)，電話：(06) 2757575 Ext. 62192 ；Email：kschen@mail.ncku.edu.tw
２、有關本專案計畫，請洽該會工程處蔡明倫助理研究員， 電話： 0 2 - 2 7 3 7 - 7 3 9 0 ； E -m a i l ： m l t s a i @ n s t c . g o v . t w 。
３、有關線上申請系統使用及操作問題，請洽該會資訊系統服務專線： 0 2 - 2 7 3 7 - 7 5 9 0 、7 5 9 1 、7 5 9 2 ； E -m a i l ： m i s s e r v i c e @ n s t c . g o v . t w 。
三、檢附國科會來函電子檔及計畫徵求公告各1份。